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Behrisch

Sputtering by Particle Bombardment I

Physical Sputtering of Single-Element Solids

Medium: Buch
ISBN: 978-3-662-30888-2
Verlag: Springer
Erscheinungstermin: 23.08.2014
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Produkteigenschaften

  • Artikelnummer: 9783662308882
  • Medium: Buch
  • ISBN: 978-3-662-30888-2
  • Verlag: Springer
  • Erscheinungstermin: 23.08.2014
  • Sprache(n): Englisch
  • Auflage: Softcover Nachdruck of the original 1. Auflage 1981
  • Serie: Topics in Applied Physics
  • Produktform: Kartoniert, Paperback
  • Gewicht: 458 g
  • Seiten: 284
  • Format (B x H x T): 155 x 235 x 17 mm
  • Ausgabetyp: Kein, Unbekannt

Themen

Autoren/Hrsg.

Herausgeber

and overview.- Sputtering by ion bombardment theoretical concepts.- Theoretical aspects of monocrystal sputtering.- Sputtering yield measurements.- Sputtering yields of single crystalline targets.