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Behrisch

Sputtering by Particle Bombardment II

Sputtering of Alloys and Compounds, Electron and Neutron Sputtering, Surface Topography

Medium: Buch
ISBN: 978-3-662-31169-1
Verlag: Springer
Erscheinungstermin: 23.08.2014
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Produkteigenschaften

  • Artikelnummer: 9783662311691
  • Medium: Buch
  • ISBN: 978-3-662-31169-1
  • Verlag: Springer
  • Erscheinungstermin: 23.08.2014
  • Sprache(n): Englisch
  • Auflage: Softcover Nachdruck of the original 1. Auflage 1983
  • Serie: Topics in Applied Physics
  • Produktform: Kartoniert, Paperback
  • Gewicht: 594 g
  • Seiten: 394
  • Format (B x H x T): 152 x 229 x 23 mm
  • Ausgabetyp: Kein, Unbekannt

Themen

Autoren/Hrsg.

Herausgeber

and overview.- Sputtering of multicomponent materials.- Chemical sputtering.- Sputtering by electrons and photons.- Sputtering of solids with neutrons.- Heavy ion sputtering induced surface topography development.- Development of surface topography due to gas ion implantation.