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Büttgenbach

Mikrosystemtechnik

Vom Transistor zum Biochip

Medium: Buch
ISBN: 978-3-662-49772-2
Verlag: Springer
Erscheinungstermin: 15.11.2016
Lieferfrist: bis zu 10 Tage

Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her?

Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt:  von der Fahrzeugtechnik über die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit großer Wirkung: die einzelnen Komponenten können einige Mikrometer groß sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter.  Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erläutert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung.  Und er geht auf die zukünftigen Trends dieser Schlüsseltechnologie ein.


Produkteigenschaften


  • Artikelnummer: 9783662497722
  • Medium: Buch
  • ISBN: 978-3-662-49772-2
  • Verlag: Springer
  • Erscheinungstermin: 15.11.2016
  • Sprache(n): Deutsch
  • Auflage: 1. Auflage 2016
  • Serie: Technik im Fokus
  • Produktform: Kartoniert, Paperback
  • Gewicht: 187 g
  • Seiten: 151
  • Format (B x H x T): 127 x 190 x 9 mm
  • Ausgabetyp: Kein, Unbekannt
Autoren/Hrsg.

Autoren

Einleitung.- Transistor und Halbleitertechnik.- Piezoresistiver Effekt.- Bulk Micromachining.- LIGA-Verfahren.- Surface Micromachining.- Atomic Force Microscope (AFM).- Entwicklung von Ultrakurzpulslasern.- µTAS (Micro Total Analysis System)-Konzept.- Deep Reactive Ion Etching (DRIE).- Soft-Lithografie.- Die Zukunft.