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Dabrowski / Weber

Predictive Simulation of Semiconductor Processing

Status and Challenges

Medium: Buch
ISBN: 978-3-540-20481-7
Verlag: Springer
Erscheinungstermin: 05.05.2004
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Predictive Simulation of Semiconductor Processing  enables researchers and developers to extend the scaling range of semiconductor devices beyond the parameter range of empirical research. It requires a thorough understanding of the basic mechanisms employed in device fabrication, such as diffusion, ion implantation, epitaxy, defect formation and annealing, and contamination. This book presents an in-depth discussion of our current understanding of key processes and identifies areas that require further work in order to achieve the goal of a comprehensive, predictive process simulation tool.

Produkteigenschaften

  • Artikelnummer: 9783540204817
  • Medium: Buch
  • ISBN: 978-3-540-20481-7
  • Verlag: Springer
  • Erscheinungstermin: 05.05.2004
  • Sprache(n): Englisch
  • Auflage: 2004
  • Serie: Springer Series in Materials Science
  • Produktform: Gebunden, HC runder Rücken kaschiert
  • Gewicht: 1028 g
  • Seiten: 490
  • Format (B x H x T): 160 x 241 x 36 mm
  • Ausgabetyp: Kein, Unbekannt

Themen

Autoren/Hrsg.

Herausgeber

1 Transistors and Atoms.- 2 Atomistic Simulations of Processes at Surfaces.- 3 Atomistic Simulations in Materials Processing.- 4 Atomistic Simulation of Decanano MOSFETs.- 5 Modeling and Simulation of Heterojunction Bipolar Transistors.- 6 Gate Oxide Reliability: Physical and Computational Models.- 7 High-K Dielectrics: The Example of Pr2O3.- 8 Atomistic Simulation of Si3N4 CVD from Dichlorosilane and NH3.- 9 Interconnects and Propagation of High Frequency Signals.- 10 Modeling of Electromigration in Interconnects.- 11 Predictive Modeling of Transition Metal Gettering: Applications and Materials Science Challenges.