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Wir sind gerne für Sie daDieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
Produkteigenschaften
- Artikelnummer: 9783835100039
- Medium: Buch
- ISBN: 978-3-8351-0003-9
- Verlag: Vieweg+Teubner Verlag
- Erscheinungstermin: 25.04.2006
- Sprache(n): Deutsch
- Auflage: 2006
- Produktform: Kartoniert
- Gewicht: 376 g
- Seiten: 274
- Format (B x H x T): 148 x 210 x 16 mm
- Ausgabetyp: Kein, Unbekannt