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Poletkin

Levitation Micro-Systems

Applications to Sensors and Actuators

Medium: Buch
ISBN: 978-3-030-58910-3
Verlag: Springer
Erscheinungstermin: 19.11.2021
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This book presents inductive and hybrid levitation micro-systems and their applications in micro-sensors and –actuators. It proposes and discusses analytical and quasi-finite element techniques for modeling levitation micro-systems based on the Lagrangian formalism. In particular, micro-bearings, -actuators, -accelerators and –accelerometers based on inductive levitation are comprehensively described with accompanying experimental measurements.

Produkteigenschaften

  • Artikelnummer: 9783030589103
  • Medium: Buch
  • ISBN: 978-3-030-58910-3
  • Verlag: Springer
  • Erscheinungstermin: 19.11.2021
  • Sprache(n): Englisch
  • Auflage: 1. Auflage 2021
  • Serie: Microsystems and Nanosystems
  • Produktform: Kartoniert, Paperback
  • Gewicht: 289 g
  • Seiten: 174
  • Format (B x H x T): 155 x 235 x 11 mm
  • Ausgabetyp: Kein, Unbekannt

Themen

Autoren/Hrsg.

Autoren

Introduction to levitation micro-systems.- Micro-fabrication techniques.- Analytical modelling.- Quasi-finite element modelling.- Inductive levitation micro-systems.- Hybrid levitation micro-systems.- Mechanical thermal noise in levitated micro-gyroscopes.