Bringing Scanning Probe Microscopy up to Speed
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- Verlag: Springer
- ISBN: 978-1-4613-7353-7 (Buch)
- Erscheinungstermin: 11.02.2013
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Dynamics of Microelectromechanical Systems
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- Verlag: Humana
- ISBN: 978-0-387-36800-9 (Buch)
- Erscheinungstermin: 03.10.2007
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Scanning Probe Lithography
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- Verlag: Springer
- ISBN: 978-0-7923-7361-2 (Buch)
- Erscheinungstermin: 30.06.2001
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Microfluidics and BioMEMS Applications
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- ISBN: 978-1-4419-5316-2 (Buch)
- Erscheinungstermin: 25.01.2011
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Optimal Synthesis Methods for MEMS
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- Verlag: Springer
- ISBN: 978-1-4613-5101-6 (Buch)
- Erscheinungstermin: 13.09.2013
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Microfluidics and BioMEMS Applications
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- ISBN: 978-1-4020-7237-6 (Buch)
- Erscheinungstermin: 30.09.2002
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Interfacial Compatibility in Microelectronics
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- ISBN: 978-1-4471-6068-7 (Buch)
- Erscheinungstermin: 22.02.2014
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Optical Microscanners and Microspectrometers using Thermal Bimorph Actuators
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- Verlag: Humana
- ISBN: 978-1-4419-4946-2 (Buch)
- Erscheinungstermin: 10.12.2010
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Advanced Mechatronics and MEMS Devices
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- ISBN: 978-1-4899-9745-6 (Buch)
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Materials & Process Integration for MEMS
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