BioMEMS
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- Verlag: Springer
- ISBN: 978-1-4419-3951-7 (Buch)
- Erscheinungstermin: 29.11.2010
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Dynamics of Microelectromechanical Systems
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- Verlag: Humana
- ISBN: 978-0-387-36800-9 (Buch)
- Erscheinungstermin: 03.10.2007
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Scanning Probe Lithography
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- Verlag: Springer
- ISBN: 978-0-7923-7361-2 (Buch)
- Erscheinungstermin: 30.06.2001
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Interfacial Compatibility in Microelectronics
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- Verlag: Springer
- ISBN: 978-1-4471-6068-7 (Buch)
- Erscheinungstermin: 22.02.2014
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Optical Microscanners and Microspectrometers using Thermal Bimorph Actuators
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- Verlag: Humana
- ISBN: 978-1-4419-4946-2 (Buch)
- Erscheinungstermin: 10.12.2010
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Advanced Mechatronics and MEMS Devices
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- Verlag: Humana
- ISBN: 978-1-4899-9745-6 (Buch)
- Erscheinungstermin: 15.10.2014
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Microscale Heat Conduction in Integrated Circuits and Their Constituent Films
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- Verlag: Springer
- ISBN: 978-0-7923-8591-2 (Buch)
- Erscheinungstermin: 31.08.1999
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Principles and Applications of NanoMEMS Physics
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- ISBN: 978-1-4020-3238-7 (Buch)
- Erscheinungstermin: 20.12.2005
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Micromachined Ultrasound-Based Proximity Sensors
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- ISBN: 978-0-7923-8508-0 (Buch)
- Erscheinungstermin: 30.04.1999
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Dynamics of Microelectromechanical Systems
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- Verlag: Springer
- ISBN: 978-1-4419-4225-8 (Buch)
- Erscheinungstermin: 23.11.2010
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