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Dai / Nassar

Modelling of Microfabrication Systems

Medium: Buch
ISBN: 978-3-540-00252-9
Verlag: Springer Berlin Heidelberg
Erscheinungstermin: 13.06.2003
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This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.

Produkteigenschaften

  • Artikelnummer: 9783540002529
  • Medium: Buch
  • ISBN: 978-3-540-00252-9
  • Verlag: Springer Berlin Heidelberg
  • Erscheinungstermin: 13.06.2003
  • Sprache(n): Englisch
  • Auflage: 2003
  • Serie: Microtechnology and MEMS
  • Produktform: Gebunden
  • Gewicht: 1270 g
  • Seiten: 270
  • Format (B x H x T): 160 x 241 x 20 mm
  • Ausgabetyp: Kein, Unbekannt

Themen

Autoren/Hrsg.

Autoren

1 Ion Beam.- 2 X-ray Lithography.- 3 Laser Chemical Vapor Deposition.- 4 Laser Photopolymerization.- 5 Laser Ablation.- 6 Thin Films.- References.