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Wir sind gerne für Sie daThis is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.
Produkteigenschaften
- Artikelnummer: 9783642055362
- Medium: Buch
- ISBN: 978-3-642-05536-2
- Verlag: Springer
- Erscheinungstermin: 08.12.2010
- Sprache(n): Englisch
- Auflage: 1. Auflage. Softcover version of original hardcover Auflage 2003
- Serie: Microtechnology and MEMS
- Produktform: Kartoniert, Previously published in hardcover
- Gewicht: 429 g
- Seiten: 270
- Format (B x H x T): 155 x 235 x 16 mm
- Ausgabetyp: Kein, Unbekannt